euv光刻机有中国技术吗

来源：成节情感

euv光刻机有中国技术。一台EUV光刻机包含了人类目前最高精尖的科技，集中了全世界科技最发达国家的最前沿技术，比如光源技术来自美国、光学设备来自日本、轴承来自瑞典、阀件来自法国、机械工艺和蔡司镜头来自德国，整台机器包括超过10万个零件。

拓展：

中国技术：

1、赛微电子的微机电系统MEMS

MEMS是一种尺寸最多只有几毫米的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，主要由传感器、动作器(执行器)和微能源3大部分组成，赛微电子的MEMS主要用于EUV光刻机的微流控部分。

2、福晶科技的光学元件

福晶科技前身是中国科学院福建物质结构研究所，主要从事晶体材料及其器件的研发、生产和销售，其产品广泛应用于激光及光通讯领域。今年6月份，福晶科技曾经公开披露：公司曾通过欧洲代理向ASML提供极其少量光学元件。

3、蓝英装备子公司的清洗设备

EUV光刻机制造芯片的过程非常复杂，要经历多次曝光和清洗，其中光学系统的清洗必须采用专业的清洗设备，蓝英装备在瑞士的子公司UCM AG从08年就开始为ASML的EUV光刻机的光学系统的关键部件提供清洗设备。